ガラスエッチングとは、ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で腐食させ、溝や段彫り加工などを施す技術です。基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスが使用されます。フォトリソなとでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして使用するので、高精度のパターンが形成できます。

また、深さ方向の寸法制御も可能です。薬品による腐食作用なので、表面は比較的滑らかに仕上がります。