角柱ガラス全周にAu電極
パターン 線幅：200μm

フォトリソ加工というと2次元の平面に処理するのが一般的ですが、近年は立体構造物への加工要望が多くなってきております。 そこで、弊社では電着という方法で塗布することができる機能性フォトレジストを利用したパターニングに取り組んでいます。

レジストをいかに均一に塗布するか、導電膜をどのように成膜するか、に加え対象物に対してどのように露光するのかがとても重要になります。 対象物の形状ごとに、そのつど試行錯誤を繰り返しながら、ご要望を実現するべく取り組んでおります。