営業品目

• 蒸着Crエッチング

  ハードマスク、LCDブラックマトリクス、顕微鏡接眼スケール、各種ガラススケール、エンコーダスリット

• 真空蒸着

  Cr、Al、Au、MgF2、SiO、SiO2、Ni、Cr2O3、NiCr、Cu、ITO、Ta、Ti、Mo、W、Pt など

• 蒸着金属薄膜エッチング

  各種電極、レーザーミラー、レーザーマスク、反射型目盛、ビームスプリッター用ミラー、センサー

• Siウェハエッチング

  異方性エッチング、Ｖ溝チップ、マイクロマシン、等方性エッチング

• ガラス基板エッチング（石英ガラス他）

  ガラスセル、マイクロ流路、位相差フィルタ

• ITOエッチング

  各種透明電極、液晶セル、センサー

• ドライフィルムレジストパターニング、サンドブラスト、穴加工、溝加工

  流路、セル、レーザーマスク、スルーホール

• Auエッチング

  各種電極、センサー、レーザーミラー、レーザーマスク

• 超薄板ガラス加工

  (50μt、100μt、150μt、300μt)真空蒸着、フォトエッチング、穴加工、外形加工

• 積層薄膜エッチング

  ITO+Cr+Au / Ti+Cu / Ti+Au / Cr+Al など

• リフトオフ加工

  SiO2回折格子、RGB透過型カラーパターン、位相差フィルタ、誘電体フィルタ

• 解像力測定用チャート

  Cr、エマルジョン、ガラスエッチングレンズ用、乳剤用、フォトレジスト用

• フレキシブル基板上の回路形成

  FPC、リジット基板、フィルムITOパターニング、フィルムメタルパターニング

• TEGチップ

  Auバンプ、ハンダバンプ、インターポーザ

• カラーフィルタ

  顔料分散+ITOパターン

• ダイシング加工

  ガラス、シリコンウェハ、ワイヤー、フィルム、セラミックス

• その他試作研究用部品