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保有技術装置一覧
保有技術装置一覧
各種薄膜の形成や、各種露光機、そして様々なフォトファブリケーション加工に必要な装置を保有しています。
※横スクロールして御覧ください。
| 技術 | 加工内容 | 保有装置 | |
|---|---|---|---|
| 成膜 | 抵抗加熱 E.B.蒸着 |
・抵抗加熱真空蒸着機 ・E.B.加熱真空蒸着機 |
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| レジスト パターン |
フォトレジスト カラーレジスト 高アスペクト比レジスト ドライフィルムレジスト 電着レジスト |
コート | ・スピンコータ(小、中、大型) ・ドライフィルムレジストラミネータ ・MEMS対応電着フォトレジスト コーティングシステム |
| 露光 | ・ハイパワー露光機 ・Φ300ミリウエハ対応平行光露光機 ・Φ200ミリウエハ対応平行光露光機 ・大型拡散光露光機 |
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| 現像 | ・スプレー現像機 | ||
| 焼成 | ・大型オーブン（100×800×750） ・恒温乾燥機 ・各種オーブン（max1000℃） |
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| ウェットエッチング | メタル膜エッチング シリコンエッチング ガラスエッチング 樹脂パターニング (レジスト・ポリイミド等) |
・DIP式ウェットエッチング ・スプレーエッチングマシン ・YAGレーザーリペア ・532nmレーザーリペア |
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| 切断 | ダイシング スクライブ |
・ダイシングソー ・スクライバ |
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| 洗浄 | ・超音波洗浄機 ・プラズマアッシャ ・UVオゾンクリーナ |
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| 測定 | ・実体顕微鏡 ・測定顕微鏡 ・レーザー顕微鏡 ・投影機 ・触針式膜厚計（アルファーステップ、Surfcorder ET200A-D） ・MEMS対応三次元形状観察測定顕微鏡 |
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| サンドブラスト | ・全自動式サンドブラスト装置 ・手動式ブラスト装置 |
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| メッキ | ・Φ150電解メッキシステム | ||
| その他 | ・製版カメラ ・クリーンルーム ・デジタルマイクロプロッタ ・Micro RIE |
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