電解メッキ装置

一般的にメッキとは、金属の膜を施す表面処理やその方法を指しますが、その手法には色々な種類があります。 代表的なものは、無電解メッキと、電解（電気）メッキです。 それぞれ金属の析出方法が異なります。

当社で行っている電解メッキとは、イオン化した金属を含む水溶液に基板を入れ、液中に電気を流して基板の表面に金属を析出させる方法です。 メッキは、精密加工の分野では金属膜の厚みをかせぐために使用されます。

蒸着による成膜は通常1μm以下ですが、メッキでは数μｍの膜を形成することできます。 また、微細なメッキパターンを形成する「セミアディティブ法」という技術にも、電解メッキの技術が応用されています。

当社では6インチウエハー対応のメッキシステムを導入しております。