営業品目

■蒸着 Cr フォトエッチング

■真空蒸着

ハードマスク、LCDブラックマトリクス、顕微鏡接眼スケール、各種ガラススケール、エンコーダスリット

Cr, Al, Au, MgF2, SiO, SiO2, Ni,Cr2O3, NiCr, Cu
ITO, Ta, Ti, Mo, W, Pt

■蒸着 Al フォトエッチング

■Si ウェハー

各種電極、レーザーミラー、レーザーマスク、反射型目盛、
ビームスプリッター用ミラー

異方性エッチング、Ｖ溝チップ
マイクロマシン

■蒸着 Cu フォトエッチング

■基板フォトエッチング（ガラス、石英）

各種電極、センサー、レーザーミラー

ガラスセル、マイクロ流路、位相差フィルタ

■ITO フォトエッチング

■ブラスト、パターニング、 穴加工、溝加工

各種透明電極、液晶セル、センサー

流路、セル、レーザーマスク、スルーホール

■Au フォトエッチング（蒸着、電解）

■超薄板ガラス加工

各種電極、液晶セル、センサー、レーザーミラー、レーザーマスク

(50μt、100μt、150μt、300μt)
真空蒸着、フォトエッチング、穴加工、外形加工

■積層薄膜フォトエッチング

■リフトオフ加工

ITO+NiCr+Au / ITO+Cu / Cr+Cu / Cr+Al

SiO2回折格子、RGB透過型カラーパターン、位相差フィルタ、誘電体フィルタ

■解像力測定用チャート

■FPC フォトエッチング＋バンプ加工

Cr、エマルジョン、ガラスエッチング
レンズ用、乳剤用、フォトレジスト用

■TEGチップ

■カラーフィルタ

（ガラス、Si）、Auバンプ、ハンダバンプ、　インターポーザ

顔料分散+ITOパターン

■ガラス、シリコン、ダイシング、穴加工

■その他試作研究用部品