超音波洗浄装置

ＵＶオゾンクリーナ

真空蒸着機

ＥＢ蒸着機

スパッタ8φインライン３真空槽、５ターゲット（8"φ）

スピンナ

大型スピンコータ

ロールコータ

恒温乾燥器

スプレー現像機

スプレーエッチングマシン

実体顕微鏡

測定顕微鏡

レーザー顕微鏡

全自動サンドブラスト装置

デジタルマイクロプロッタ

製版カメラ

投影機

膜厚計　（アルファーステップ）

YAGレーザーリペア

顕微鏡写真撮影装置

ダイシングソー

クリーンルーム

プラズマアッシャ

ドライフィルムレジストラミネータ

ハイパワー露光機

300ミリウエハー対応平行光露光機

マスクアライナ　(200φウェハー対応)

大型マスクアライナ　(1000 X 800)

大型サンドブラスト装置

大型オーブン　(1000 X 800 X 750)

ＭＥＭＳ対応三次元形状観察測定顕微鏡

ＭＥＭＳ対応精密電解メッキシステム

ＭＥＭＳ対応ディスペンサーシステム

ＭＥＭＳ対電着フォトレジストコーティングシステム